光学ミラー制御等、高分解能のチルト機構を必要とする用途に向いています。
主なアプリケーション
- 光学ミラーの精密制御
- レーザーシステム
- スキャニング（走査）装置 など
MTL-F1
- 積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。
- 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。
- ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
- 一体弾性ヒンジによる精密動作。
- ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
- *MTL-F1 、MTL-F1S （ミラーなし）
- *MTL-F1M1、MTL-F1SM1（ミラーφ12.5含む）
- *MTL-F1M2、MTL-F1SM2（ミラーφ25含む）
型式 振れ角
(mrad)分解能
(μrad)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MTL-F1 44 0.1 0.83k – – MTL-F1M1 44 0.1 0.8k – – MTL-F1M2 44 0.1 0.6k – – MTL-F1S 35 0.5 0.83k – ひずみゲージ MTL-F1SM1 35 0.5 0.8k – ひずみゲージ MTL-F1SM2 35 0.5 0.6k – ひずみゲージ 関連製品
MTL-E1-M MQ-2TXYD MP-5TYZL M-26110-3TL M-26110S-3TL- 積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。
- 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。
- ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
- 一体弾性ヒンジによる精密動作。
- ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
- *MTL-F1 、MTL-F1S （ミラーなし）
- *MTL-F1M1、MTL-F1SM1（ミラーφ12.5含む）
- *MTL-F1M2、MTL-F1SM2（ミラーφ25含む）
型式 振れ角
(mrad)分解能
(μrad)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MTL-F1 44 0.1 0.83k – – MTL-F1M1 44 0.1 0.8k – – MTL-F1M2 44 0.1 0.6k – – MTL-F1S 35 0.5 0.83k – ひずみゲージ MTL-F1SM1 35 0.5 0.8k – ひずみゲージ MTL-F1SM2 35 0.5 0.6k – ひずみゲージ 関連製品
MTL-E1-M MQ-2TXYD MP-5TYZL M-26110-3TL M-26110S-3TLMTL-E1-M
MQ-2TXYD
- ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
- 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
- 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
型式 振れ角
(mrad)分解能
(μrad)共振周波数
(Hz)剛性
(N/um)内蔵センサ MQ-2TXYD 3 0.02 3.1k – – MQ-2TXYDS 2.4 0.04 3.1k – ひずみゲージ 関連製品
MTL-F1 MTL-E1-M MP-5TYZL M-26110-3TL M-26110S-3TL- ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
- 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
- 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
型式 振れ角
(mrad)分解能
(μrad)共振周波数
(Hz)剛性
(N/um)内蔵センサ MQ-2TXYD 3 0.02 3.1k – – MQ-2TXYDS 2.4 0.04 3.1k – ひずみゲージ 関連製品
MTL-F1 MTL-E1-M MP-5TYZL M-26110-3TL M-26110S-3TLMP-5TYZL
