ピエゾの特徴である微小変位とロングストロークを両立したアクチュエータです。長い範囲を精密に位置決めする用途に適しています。
主なアプリケーション
- SEM内マニュピレーション
- ナノマテリアル観察・特性評価
- バイオテクノロジー（細胞観察・追跡等）など
MST-TA1202XD
- サブμｍのステップ変位繰り返しで最大ストローク12mm(X)
- リニアガイド機構により、ステージ移動中ほとんどブレずに光学部品等の位置調整可能。
- kgレベルの重量物も搭載可能。
- ストローク、サイズ等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
- 専用コントローラ M-26122+M-9219
型式 ストローク
(μm)最小ステップ
(μm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MST-TA1202XD 12000 0.1 – – – MST-TA1202XDE 12000 0.1 – – Encoder 関連製品
MZ-1300ZL MPS-C1X M-26122+M-9219- サブμｍのステップ変位繰り返しで最大ストローク12mm(X)
- リニアガイド機構により、ステージ移動中ほとんどブレずに光学部品等の位置調整可能。
- kgレベルの重量物も搭載可能。
- ストローク、サイズ等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
- 専用コントローラ M-26122+M-9219
型式 ストローク
(μm)最小ステップ
(μm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MST-TA1202XD 12000 0.1 – – – MST-TA1202XDE 12000 0.1 – – Encoder 関連製品
MZ-1300ZL MPS-C1X M-26122+M-9219
