1軸ピエゾアクチュエータ

• 微細ピッチねじのついたケースを採用。本体固定や初期位置合わせがしやすい形状。
• 予圧機構により引張力も発生できる。
• 用途に合わせた形状カスタマイズ等にも対応可能。

型式	ストローク （μm）	許容荷重 （引張り） （nm）	許容荷重 （圧縮） （Hz）	静電容量値 （µF）	L寸法 (mm)
MPA-KB1	20	200	1500	1.8	29
MPA-KB2	40	200	1500	3.6	47
MPA-KB3	60	200	1500	5.4	65
MPA-KB6	120	200	1500	11	119




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一体弾性ヒンジによるガイド機構に積層圧電アクチュエーターを組込んだ製品で摩擦のない精度のよい真直動作を得ることができます。変位拡大により小型ながら大きな変位量です。サブナノメートルオーダーの高分解能動作とミリ秒高速応答性が特徴です。各種機器への組込みに特化した低コスト_ピエゾアクチュエーター。

関連製品

• 積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
• 装置組込に特化した小型設計。
• 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
• 真直性に優れます。
• 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
• ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。

関連製品

• 積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
• 装置組込に特化した小型設計。
• 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
• 真直性に優れます。
• 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
• ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。

関連製品

• 1000μmのロングストロークを出力。
• 変位軸方向にコンパクトな設計（高さ38mm）ながら大変位を出力。
• 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
• 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、真直性に優れます。
• 外部に変位センサーを設置して変位クローズド制御することも可能です。

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