装置の組込み等に最適な１軸アクチュエータです。
主なアプリケーション
- 対象物の精密位置決め全般
- 振動制御 など
MPA-V1
- ピエゾシャフトクランパーは電圧印可によりスライド軸や回転軸をクランプします。
- 無通電ではクランプ保持されます。
- 頻繁にクランプ・アンクランプする箇所、手の届きにくい個所でのシャフト固定に適します。
型式 駆動電圧
(V)保持トルク
(N・m)保持スライド
荷重(N)応答速度
(ms)適用シャフト MPA-V1 0~150 0.2 80 3~ φ8g6 関連製品
- ピエゾシャフトクランパーは電圧印可によりスライド軸や回転軸をクランプします。
- 無通電ではクランプ保持されます。
- 頻繁にクランプ・アンクランプする箇所、手の届きにくい個所でのシャフト固定に適します。
型式 駆動電圧
(V)保持トルク
(N・m)保持スライド
荷重(N)応答速度
(ms)適用シャフト MPA-V1 0~150 0.2 80 3~ φ8g6 関連製品
MPA-S1
MPA-R1
MPA-G2
MHS-Fシリーズ
- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XD- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XD
