- 積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。
- 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。
- ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
- 一体弾性ヒンジによる精密動作。
- ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
- *MTL-F1 、MTL-F1S （ミラーなし）
- *MTL-F1M1、MTL-F1SM1（ミラーφ12.5含む）
- *MTL-F1M2、MTL-F1SM2（ミラーφ25含む）
| 型式 | 振れ角 (mrad) | 分解能 (μrad) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MTL-F1 | 44 | 0.1 | 0.83k | – | – |
| MTL-F1M1 | 44 | 0.1 | 0.8k | – | – |
| MTL-F1M2 | 44 | 0.1 | 0.6k | – | – |
| MTL-F1S | 35 | 0.5 | 0.83k | – | ひずみゲージ |
| MTL-F1SM1 | 35 | 0.5 | 0.8k | – | ひずみゲージ |
| MTL-F1SM2 | 35 | 0.5 | 0.6k | – | ひずみゲージ |
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- ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
- 一体弾性ヒンジによる精密動作。
- ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
- *MTL-F1 、MTL-F1S （ミラーなし）
- *MTL-F1M1、MTL-F1SM1（ミラーφ12.5含む）
- *MTL-F1M2、MTL-F1SM2（ミラーφ25含む）
| 型式 | 振れ角 (mrad) | 分解能 (μrad) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MTL-F1 | 44 | 0.1 | 0.83k | – | – |
| MTL-F1M1 | 44 | 0.1 | 0.8k | – | – |
| MTL-F1M2 | 44 | 0.1 | 0.6k | – | – |
| MTL-F1S | 35 | 0.5 | 0.83k | – | ひずみゲージ |
| MTL-F1SM1 | 35 | 0.5 | 0.8k | – | ひずみゲージ |
| MTL-F1SM2 | 35 | 0.5 | 0.6k | – | ひずみゲージ |