MTL-E1-M

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チルト機構付ステージRoHS 10物質非含有
  • 高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。
  • 一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式振れ角
(μrad)		分解能
(μrad)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MTL-E1-M4500.0046000––
MTL-E1C-M3600.26000–静電容量

関連製品
MTL-F1 MQ-2TXYD MP-5TYZL
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  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式振れ角
(μrad)		分解能
(μrad)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
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