MPA-S1

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1軸ピエゾアクチュエータRoHS 10物質非含有
  • 一体弾性ヒンジによるガイド機構に耐湿型の積層圧電アクチュエーターを組込んだ製品で摩擦のない精度のよい真直動作。
  • 変位拡大により小型ながら大きな変位量を発生。
  • サブナノメートルオーダーの高分解能動作と高速応答性。
  • 各種機器への組込みに特化した低コストタイプ。
型式ストローク
(μm)		分解能
(nm)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MPA-S110001.0–0.05–

関連製品
MZ-1300ZL MPA-MC4 MC-140L MPA-R1
1軸ピエゾアクチュエータRoHS 10物質非含有
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  • 一体弾性ヒンジによるガイド機構に耐湿型の積層圧電アクチュエーターを組込んだ製品で摩擦のない精度のよい真直動作。
  • 変位拡大により小型ながら大きな変位量を発生。
  • サブナノメートルオーダーの高分解能動作と高速応答性。
  • 各種機器への組込みに特化した低コストタイプ。
型式ストローク
(μm)		分解能
(nm)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
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