- XY軸に20μmのストロークを出力。
- 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| ML-20XYL | 20 | 0.2 | 2.1k | 0.8 | – |
| ML-20XYLC | 16 | 0.5 | 2.1k | 0.8 | 静電容量 |
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- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| ML-20XYL | 20 | 0.2 | 2.1k | 0.8 | – |
| ML-20XYLC | 16 | 0.5 | 2.1k | 0.8 | 静電容量 |