MH-20XYD

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高速応答・高剛性ピエゾステージRoHS 10物質非含有
  • 高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 高剛性・ナノメートル位置分解能・ミリ秒高速応答
型式ストローク
(μm)		分解能
(nm)		共振周波数
(X/Y)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MH-20XYD200.23.5k / 3.0k150–
MH-20XYDC1613.5k / 3.0k150静電容量

関連製品
MHS-F MFシリーズ MWP-A30X MO-10XD
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  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 高剛性・ナノメートル位置分解能・ミリ秒高速応答
型式ストローク
(μm)		分解能
(nm)		共振周波数
(X/Y)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MH-20XYD200.23.5k / 3.0k150–
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