- 長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立しており高速なステップ動作が可能。
- 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- 「高安定な静電容量変位センサ」または「ローコストなひずみゲージ変位センサ」から選択可。
- ミリ秒高速ステップ応答・各種対物レンズねじに対応。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MD-100L | 150 | 0.2 | 730 | 1.7 | – |
| MD-100LS | 120 | 1.6 | 730 | 1.7 | ひずみゲージ |
| MD-100LC | 120 | 1.6 | 730 | 1.7 | 静電容量 |
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- 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- 「高安定な静電容量変位センサ」または「ローコストなひずみゲージ変位センサ」から選択可。
- ミリ秒高速ステップ応答・各種対物レンズねじに対応。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MD-100L | 150 | 0.2 | 730 | 1.7 | – |
| MD-100LS | 120 | 1.6 | 730 | 1.7 | ひずみゲージ |
| MD-100LC | 120 | 1.6 | 730 | 1.7 | 静電容量 |