MC-140L

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1軸ピエゾアクチュエータRoHS 10物質非含有
  • 積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
  • 装置組込に特化した小型設計。
  • 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
  • 真直性に優れます。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。
型式ストローク
(μm)		分解能
(nm)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MC-140L1800.25000.15–

関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MHS-F MC-10L MA-140シリーズ
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  • 装置組込に特化した小型設計。
  • 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
  • 真直性に優れます。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。
型式ストローク
(μm)		分解能
(nm)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MC-140L1800.25000.15–

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