MC-10L

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1軸ピエゾアクチュエータRoHS 10物質非含有

積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
装置組込に特化した小型設計。
摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
真直性に優れます。
変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。

型式	ストローク (μm)	分解能 (nm)	共振周波数 (Hz)	剛性 (N/μm)	内蔵センサ
MC-10L	12	0.1	2.4k	0.25	–

関連製品

AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MHS-F MC-140L MA-140シリーズ

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装置組込に特化した小型設計。
摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
真直性に優れます。
変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。

型式	ストローク (μm)	分解能 (nm)	共振周波数 (Hz)	剛性 (N/μm)	内蔵センサ
MC-10L	12	0.1	2.4k	0.25	–

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