- 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
- 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
- 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
- 長期間にわたりメンテナンス不要。
- 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MAP-BA4Z | 100 | 0.1 | 730 | 3 | – |
| MAP-BA4ZS | 85 | 2 | 730 | 3 | ひずみゲージ |
| MAP-BA4ZC | 85 | 0.9 | 730 | 3 | 静電容量 |
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- 長期間にわたりメンテナンス不要。
- 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MAP-BA4Z | 100 | 0.1 | 730 | 3 | – |
| MAP-BA4ZS | 85 | 2 | 730 | 3 | ひずみゲージ |
| MAP-BA4ZC | 85 | 0.9 | 730 | 3 | 静電容量 |