- 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
- 1軸（X軸もしくはZ軸）のピエゾステージです。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-140XL | 180 | 0.3 | 320 | 0.15 | – |
| MA-140XLS | 152 | 2 | 320 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MA-140XLC | 152 | 1 | 320 | 0.15 | 静電容量 |
| MA-140ZL | 180 | 0.3 | 290 | 0.15 | – |
| MA-140ZLS | 152 | 2 | 290 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MA-140ZLC | 152 | 1 | 290 | 0.15 | 静電容量 |
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- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
- 1軸（X軸もしくはZ軸）のピエゾステージです。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-140XL | 180 | 0.3 | 320 | 0.15 | – |
| MA-140XLS | 152 | 2 | 320 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MA-140XLC | 152 | 1 | 320 | 0.15 | 静電容量 |
| MA-140ZL | 180 | 0.3 | 290 | 0.15 | – |
| MA-140ZLS | 152 | 2 | 290 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MA-140ZLC | 152 | 1 | 290 | 0.15 | 静電容量 |