特徴
- 非接触での変位測定:センサとターゲットは接触していません
- ロングストローク:~10mm(~20mmも応相談)
- 高速応答:M-2218との接続により10kHzの応答可能
- 省スペース設置可能:ターゲット φ20mm、センサ φ20mmのスペース
- ターゲットを測定対象に固定し、測定します
型式 | FS 測定レンジ (mm) | 出力感度 (mm/V) | 基準距離 (mm) | 最小分解能 (nm) |
---|---|---|---|---|
CC10K-01 | FS10(±5) | 1 | 14 | 100 |
特徴
- 非接触での変位測定:センサとターゲットは接触していません
- ロングストローク:~10mm(~20mmも応相談)
- 高速応答:M-2218との接続により10kHzの応答可能
- 省スペース設置可能:ターゲット φ20mm、センサ φ20mmのスペース
- ターゲットを測定対象に固定し、測定します
型式 | FS 測定レンジ (mm) | 出力感度 (mm/V) | 基準距離 (mm) | 最小分解能 (nm) |
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CC10K-01 | FS10(±5) | 1 | 14 | 100 |