メステックのピエゾアクチュエータ製品ラインナップです。汎用性の高い製品から特殊用途まで、お客様の目的や用途に応じて幅広いラインナップの中からお選びいただくことができます。
また、ご要望に応じて様々なカスタマイズにも対応いたします。ピエゾアクチュエータの選定はメステックにご相談ください。
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1軸ピエゾアクチュエータ
装置の組込み等に最適な１軸アクチュエータです。
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1・2・3軸ピエゾステージ
ステージ形状のアクチュエータです。試料等を載せた精密位置決めに最適です。
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１・２・３軸透過窓付きピエゾステージ
ステージ形状のアクチュエータです。透過窓が付いている為、光学の検査装置、顕微鏡の試料観察等に使用可能です。
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高速応答・高剛性ピエゾステージ
剛性の高いステージ形状のアクチュエータです。高速でのスキャニング、大質量ワークの位置決めに最適です。
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ステッピングピエゾステージ
ピエゾの特徴である微小変位とロングストロークを両立したアクチュエータです。長い範囲を精密に位置決めする用途に適しています。
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チルト機構付ステージ
光学ミラー制御等、高分解能のチルト機構を必要とする用途に向いています。
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対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエーター
対物レンズを用いる光学顕微鏡、光学形状計測器、レーザー加工機等の光学装置でのオートフォーカス、微小変位測定、焦点位置調整等の用途に向いています。
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加工機用耐油ピエゾステージ
加工機用耐油ピエゾステージ。加工時の油の中で使用可能な高剛性のアクチュエーターです。主なアプリケーション：超微細加工（工作機械でのバイト精密位置制御）、ワークの高速位置決めなど。
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干渉計用ピエゾステージ
レーザー干渉計の高速レンズ位置決めなどに使われています。
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その他のピエゾアクチュエーター
それぞれ独自の機構を使用し、さまざまな用途で使用されています。