Q9:ピエゾアクチュエータの発熱の問題について

2020年7月27日

A9:ピエゾアクチュエータの発熱の問題とは

弊社で使用している積層圧電アクチュエータを高速で駆動させた場合、
前回説明させていただいた「Q8:ピエゾアクチュエータの共振周波数について」と合わせて
発熱による問題が出てきます。

積層圧電アクチュエータは電圧を変位(振幅)に変える時に自己発熱が発生します。
電圧(振幅)が大きく高速で連続的に変位させた時、熱が溜まっていき、ピエゾ素子の使用温度(+85℃)を超え、
焼損等で短絡する可能性が高くなります。

対策のひとつとして、ドライエアでの空冷をすることにより温度上昇を緩和させる方法があります。
また、他の方法として最大変位100μmのピエゾアクチュエータをストローク80μmで使用するような
ピエゾアクチュエータのストロークを最大変位より抑えて使用することにより、発熱を抑える方法があります。

参考程度のデータとなりますが、当社「MPA-UA6」MPA-UA6の温度特性のデータをご紹介させていただきます。
あくまでも当社設備でのMPA-UA6のデータとなり、使用するピエゾアクチュエータが違う場合やご使用方法、
使用環境により結果が異なりますことをご了承ください。

「MPA-UA6 Stroke100%」

「MPA-UA6 Stroke70%」

「MPA-UA6 Stroke25%」

他にもピエゾアクチュエータ(ピエゾステージ)、ピエゾドライバ(ピエゾコントローラ)について説明させていただいているQ&Aや技術資料がございますので、ご興味がございましたらご覧ください。

【 Q9:ピエゾアクチュエータの発熱の問題について】に関連があるQ&A
Q1:ピエゾアクチュエータを駆動するには?
Q2:オープンループ制御・クローズドループ制御とは?
Q8:ピエゾアクチュエータの共振周波数について
Q10:ピエゾドライバの選定方法について
Q13:ピエゾアクチュエータの使用環境について
Q15:ピエゾアクチュエータ、ピエゾステージの位置決めの精度とは?
Q16:ピエゾアクチュエータの固定について
Q17:ピエゾアクチュエータ(ピエゾ素子)の駆動方法について
Q18 当社ピエゾドライバ、ピエゾコントローラの使い方について
Q19:ピエゾドライバ(ピエゾコントローラ)の周波数特性について
Q22:矩形波(step波形)での駆動の際の注意点
Q26:ピエゾアクチュエーターとは
Q28:ピエゾアクチュエータの種類

技術資料
トータル技術資料
ピエゾドライバ技術資料

ご使用方法についてご検討されていましたら、お気軽にご相談ください。
ご質問をお待ちしております。

 

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