A37：今回はオープンループのピエゾアクチュエータが動かず、故障かな？と思った際、次のことを確認してください。
【１．ピエゾドライバの確認】
1-1．ピエゾドライバ単体での確認
（１）ピエゾドライバのinput、outputに接続しているケーブル類を外してください。
（２）モニター出力にオシロスコープなどの計測器を接続し、
offsetダイヤルを調整しながら信号が出るか確認してください。※１、※２
（３）モニター出力に計測器を接続したまま、Outputにも計測器を接続し、
offsetダイヤルを調整しながら信号が出るか確認してください。※3
（４）Offset電圧が出力されているようでしたら、信号を入力しない電圧出力は問題ないと考えられます。
※１ M-2629シリーズにはモニター出力機能はついておりません。
Output端子に計測器を接続し、offset電圧をご確認ください。
※２ M-2691にはモニター出力、offset調整機能はついておりません。
外部からoffset電圧(信号)を入力し、出力信号をご確認ください。
※３ 当社ピエゾドライバの出力電圧は-15V～150Vや±150V、0V～300Vなど多数の種類がございます。
ご使用されるオシロスコープなどの計測器の耐電圧にご注意ください。
1-2．任意の波形信号が出力できるかの確認
（１）1-1．で確認した信号に問題なければ、ピエゾドライバのinputに信号発生器を接続してください。
（２）Outputにオシロスコープなどの計測器を接続し、任意の波形が出力されているか確認してください。※３
（３）出力信号に問題がなければ、発信器からの波形やピエゾドライバの出力波形には問題がないと考えられます。
【２．ピエゾアクチュエータの確認】
（１）1-2．で確認した波形に問題が無ければ、次はピエゾアクチュエータを確認してください。
（２）簡単な確認方法としてピエゾアクチュエータの抵抗を測定する方法があります。
（３）ピエゾアクチュエータの接続用BNCコネクタにテスターを接続し、抵抗値を測定してください。
（４）正常であれば数MΩの抵抗値が測定されます。
ピエゾ素子が故障しているようなら、抵抗値が大幅に小さくなります。
上記の確認を行っても原因が分からない場合はお気軽にお問い合わせください。