Q35:Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その5

2024年1月30日

A35:当社技術資料のClosed-Loop制御(変位フィードバック)の項目から一部を抜粋し、ご紹介させていただきます。

【繰り返し位置決め精度】
任意の1点に同じ方向からの位置決めを7回繰り返す。
その停止位置を外部変位計で計測して変位を求めます。
最大誤差と最小誤差を足した値に1/2を乗じ、
その値に±をつけた値を繰り返し位置決め精度とし変位で表します。
図1

【 Q35:Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その5】に関連があるQ&A
Q2:オープンループ制御・クローズドループ制御とは?
Q12:ピエゾアクチュエータを選ぶのに必要な仕様条件
Q15:ピエゾアクチュエータ、ピエゾステージの位置決めの精度とは?
Q31:Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その1
Q32:Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その2
Q33:Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その3
Q34:Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その4

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