2023年12月1日
A32：当社技術資料のClosed-Loop制御（変位フィードバック）の項目から一部を抜粋し、ご紹介させていただきます。
【分解能（Closed-Loop）】
ピエゾステージを CLOSEDLOOP で静止させた時の動きを外部の高精度静電容量型変位計で測定します。
高精度静電容量型変位計出力で 6 秒間測定した時の実効値を分解能とします。
【 Q33：Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その3】に関連があるQ&A
Q2：オープンループ制御・クローズドループ制御とは？◆
Q12:ピエゾアクチュエータを選ぶのに必要な仕様条件◆
Q15：ピエゾアクチュエータ、ピエゾステージの位置決めの精度とは？◆
Q31：Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その1◆
Q32：Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その2◆
技術資料
トータル技術資料◆
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