2023年11月10日
A32：当社技術資料のClosed-Loop制御（変位フィードバック）の項目から一部を抜粋し、ご紹介させていただきます。
【変位センサー】
『ひずみゲージ』は主に機構の変形部に配置され、その出力値変化を元に Closed loop 制御します。
高精度な制御ができ、特に低コストです。
スペースをとらないのでこれを内蔵しても装置を小型化できる利点があります。
『静電容量型変位計』は変位箇所を非接触測定してClosed loop 制御します。
そのため極めて高精度・高安定な制御が可能です。
【 Q32：Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その2】に関連があるQ&A
Q2：オープンループ制御・クローズドループ制御とは？◆
Q5：オープンループ制御とクローズドループ制御でのヒステリシスの違い◆
Q6：オープンループ制御とクローズドループ制御でのクリープの違い◆
Q15：ピエゾアクチュエータ、ピエゾステージの位置決めの精度とは？◆
Q32：Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その2◆
技術資料
トータル技術資料◆
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