2023年9月1日
A31：Closed-Loop制御（変位フィードバック）について当社技術資料の一部を抜粋し、ご説明させていただきます。
【Closed-Loop制御（変位フィードバック）とは】
ピエゾアクチュエーターの位置変化を変位センサーで読取りし、指令信号との誤差を減らす制御です。
これをClosed-Loop制御と呼びます。
これにより「ヒステリシス・クリープ・外力変動による位置変化」等を減らした高精度・高安定な動作を得られます。
【 Q31：Closed-Loop制御(変位フィードバック)_その1】に関連があるQ&A
Q2：オープンループ制御・クローズドループ制御とは？◆
Q5：オープンループ制御とクローズドループ制御でのヒステリシスの違い◆
Q6：オープンループ制御とクローズドループ制御でのクリープの違い◆
Q15：ピエゾアクチュエータ、ピエゾステージの位置決めの精度とは？◆
技術資料
トータル技術資料◆
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