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干渉計用ピエゾステージ


主なアプリケーション:

  • ●レーザー干渉計の高速レンズ位置決め など
MVシリーズ 干渉計用ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MV-Series
  • ピエゾアクチューエータを内蔵しZ軸ストローク20μm を発生します。
  • 窓口径は4インチ相当と6インチ相当をご用意。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MV-20ZD4 20 0.1 400
MV-20ZDS4 16 1 400 ひずみゲージ
MV-20ZD6 20 0.1 400
MV-20ZDS6 16 1 400 ひずみゲージ

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