
加工時の油の中で使用可能な高剛性のアクチュエーターです。
主なアプリケーション:
型 式 | ストローク
(μm) |
分 解 能
(nm) |
共振周波数
(Hz) |
剛 性
(N/μm) |
内蔵センサ |
---|---|---|---|---|---|
MWP-A30X |
37 | 0.2 |
2.8k |
60 | – |
MWP-A30XC | 37 |
0.5 |
2.8k | 60 | 静電容量 |
型 式 | ストローク
(μm) |
分 解 能
(nm) |
共振周波数
(Hz) |
剛 性
(N/μm) |
内蔵センサ |
---|---|---|---|---|---|
MO-10XD | 15 | 0.1 | 4.5k | 55 | – |
MO-10XDC | 12 | 1 | 4.5k | 55 | 静電容量 |