加工機用耐油ピエゾステージ
加工時の油の中で使用可能な高剛性のアクチュエーターです。
主なアプリケーション：
- ●超微細加工(工作機械でのバイト精密位置制御) ●ワークの高速位置決め など
MWP-A30X加工機用耐油ピエゾステージ
- 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
- ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク37μmを発生します。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
| 型 式 |
ストローク
（μm） |
分 解 能
（nm） |
共振周波数
（Hz） |
剛 性
（N/μm） |
内蔵センサ |
|
MWP-A30X |
37 |
0.2 |
2.8k |
60 |
– |
| MWP-A30XC |
37 |
0.5 |
2.8k |
60 |
静電容量 |
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MO-10XD 加工機用耐油ピエゾステージ
- 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
- ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク15μmを発生します。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
| 型 式
| ストローク
（μm） |
分 解 能
（nm） |
共振周波数
（Hz） |
剛 性
（N/μm） |
内蔵センサ |
| MO-10XD |
15 |
0.1 |
4.5k |
55 |
– |
| MO-10XDC |
12 |
1 |
4.5k |
55 |
静電容量 |
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