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対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエーター

対物レンズを用いる光学顕微鏡、光学形状計測器、レーザー加工機等の光学装置でのオートフォーカス、微小変位測定、焦点位置調整等の用途に向いています。


主なアプリケーション:

  • ●共焦点顕微鏡 ●オートフォーカス ●微小段差測定 など
MOB-E1シリーズ 対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ Piezo Actuator MOB-E1
    対物レンズを光軸方向に移動させることでフォーカス調整することができます。ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決めが可能です。弾性案内機構を採用しており摩擦・摩耗する箇所がありません。長期にわたり精度が安定でメンテナンスが不要です。各種顕微鏡・対物レンズに合わせたねじアダプタをご用意しており簡単に取付けできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度・高安定な位置決めが可能です。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MOB-E1 9.5 0.1 2100 20
MOB-E1C 6 1 2100 20 静電容量型

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MOB-Aシリーズ 対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ Piezo Actuator MOB-A
    対物レンズを光軸方向に移動させることでフォーカス調整することができます。ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決めが可能です。弾性案内機構を採用しており摩擦・摩耗する箇所がありません。長期にわたり精度が安定でメンテナンスが不要です。各種顕微鏡・対物レンズに合わせたねじアダプタをご用意しており簡単に取付けできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度・高安定な位置決めが可能です。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MOB-A1 400 0.45 190
MOB-A1S 320 7 190 ひずみゲージ
MOB-A1C 320 4 190 静電容量
MOB-A2 800 0.5 130
MOB-A2S 640 11 130 ひずみゲージ
MOB-A2C 640 6 130 静電容量

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MD-100シリーズ 対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ Piezo Actuator MD-100
  • 長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立しており高速なステップ動作が可能。
  • 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • 「高安定な静電容量変位センサ」または「ローコストなひずみゲージ変位センサ」から選択可。
  • ミリ秒高速ステップ応答・各種対物レンズねじに対応。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MD-100L 150 0.2 730 1.7
MD-100LS 120 1.6 730 1.7 ひずみゲージ
MD-100LC 120 1.6 730 1.7 静電容量

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MD-140シリーズ 対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ Piezo Actuator MD-140
  • 顕微鏡のレボルバー・対物レンズ間に取付けて対物レンズを光軸方向に動かし、高精度・高速なレンズフォーカスが可能。
  • 変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、高精度な動作を発生。
  • 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能・ローコスト
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MD-140L 180 0.2 120 0.15
MD-140LS 144 3 120 0.15 ひずみゲージ
MD-140LC 144 1.5 120 0.15 静電容量

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