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チルト機構付ステージ

光学ミラー制御等、高分解能のチルト機構を必要とする用途に向いています。


主なアプリケーション:

  • ●光学ミラーの精密制御 ●レーザーシステム ●スキャニング(走査)装置 など
MTL-F1 チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MTL-F1
  • 積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。
  • 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。
  • ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
  • 一体弾性ヒンジによる精密動作。
  • ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
  • *MTL-F1 、MTL-F1S  (ミラーなし)
  • *MTL-F1M1、MTL-F1SM1(ミラーφ12.5含む)
  • *MTL-F1M2、MTL-F1SM2(ミラーφ25含む)
型 式 振れ角

(mrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MTL-F1 44 0.1 0.83
MTL-F1M1 44 0.1 0.8
MTL-F1M2 44 0.1 0.6
MTL-F1S 35 0.5 0.83 ひずみゲージ
MTL-F1SM1 35 0.5 0.8 ひずみゲージ
MTL-F1SM2 35 0.5 0.6 ひずみゲージ

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MTL-E1-M チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MTL-F1
  • 高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。
  • 一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 振れ角

(μrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MTL-E1-M 450 0.004 6000
MTL-E1C-M 360 0.2 6000 静電容量

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MQ-2TXYD チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MQ-2TXTD 2軸チルトステージ MQ-2TXYD
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
型 式 振れ角

(mrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/um)

内蔵センサ
MQ-2TXYD 3 0.02 3.1k
MQ-2TXYDS 2.4 0.04 3.1k ひずみゲージ

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MP-5TYZL チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MP-5TYZL
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 2軸振れ角6mrad・高精度位置分解能・高速応答
型 式 振れ角

(mrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MP-5TYZL 6 0.02 370
MP-5TYZLS 4.8 0.1 370 ひずみゲージ
MP-5TYZLC 4.8 0.1 370 静電容量

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