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高速応答・高剛性ピエゾステージ

剛性の高いステージ形状のアクチュエータです。高速でのスキャニング、大質量ワークの位置決めに最適です。


主なアプリケーション:

  • ●加工用バイト高速位置決め ●高速応答 大発生力を利用した振動制御 ●大質量ワークの位置決め
  • ●各種スキャニング検査装置 ●HDD検査装置 ●半導体関連検査装置 など
MFシリーズ 高速応答・高剛性ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MF-Series
  • 20μm~120μmのストロークをご用意しています。
  • 大きな質量を搭載しての高速動作が可能。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MF-20XD 20 0.1 1.4k 29
MF-20XDC 16 0.4 1.4k 29 静電容量
MF-40XD 40 0.2 1.4k
MF-40XDC 32 0.4 1.4k 静電容量
MF-60XD 60 0.2 1.4k 15
MF-60XDC 48 0.4 1.4k 15 静電容量
MF-120XD 120 0.2 1.4k 9
MF-120XDC 96 1 1.4k 9 静電容量

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MH-20XYD 高速応答・高剛性ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MH-20XYD
  • 高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 高剛性・ナノメートル位置分解能・ミリ秒高速応答
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数(X/Y)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MH-20XYD 20 0.2 3.5k / 3.0k 150
MH-20XYDC 16 1 3.5k / 3.0k 150 静電容量

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