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1軸ピエゾアクチュエータ

装置の組込み等に最適な1軸アクチュエータです。


主なアプリケーション:

  • ●対象物の精密位置決め全般 ●振動制御 など
MHS-Fシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータ・ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MHS-F
  • 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
  • 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
  • ストロークは20µm~120µmを選択できます。
  • 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(垂直設置)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MHS-F1 20 0.1 3800 16
MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型
MHS-F2 40 0.2 1400 11
MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型
MHS-F4 80 0.4 1100 10
MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型
MHS-F6 120 0.6 1000 6.5
MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型

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MPA-UAシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UA-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサをオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UA1 20 0.1 16k 32
MPA-UA1S 16 0.6 16k 32 ひずみゲージ
MPA-UA2 40 0.2 8.5k 19
MPA-UA2S 32 0.6 8.5k 19 ひずみゲージ
MPA-UA3 60 0.3 6k 13
MPA-UA3S 48 1 6k 13 ひずみゲージ
MPA-UA4 80 0.4 4.5k 10
MPA-UA4S 64 1 4.5k 10 ひずみゲージ
MPA-UA5 100 0.5 3.5k 8
MPA-UA5S 80 1 3.5k 8 ひずみゲージ
MPA-UA6 120 0.6 3k 6.5
MPA-UA6S 96 1 3k 6.5 ひずみゲージ

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MPA-UBシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UB-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサをオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UB1 20 0.1 16k 66
MPA-UB1S 16 0.6 16k 66 ひずみゲージ
MPA-UB2 40 0.2 9.5k 36
MPA-UB2S 32 0.6 9.5k 36 ひずみゲージ
MPA-UB3 60 0.3 6k 24
MPA-UB3S 48 1 6k 24 ひずみゲージ
MPA-UB4 80 0.4 4.5k 18
MPA-UB4S 64 1 4.5k 18 ひずみゲージ
MPA-UB5 100 0.5 3.5k 15
MPA-UB5S 80 1 3.5k 15 ひずみゲージ
MPA-UB6 120 0.6 3k 12
MPA-UB6S 96 1 3k 12 ひずみゲージ

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MPA-UCシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UC-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサをオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UC1 20 0.1 16k 128
MPA-UC1S 16 0.6 16k 128 ひずみゲージ
MPA-UC2 40 0.2 9k 70
MPA-UC2S 32 0.6 9k 70 ひずみゲージ
MPA-UC3 60 0.3 6k 48
MPA-UC3S 48 1 6k 48 ひずみゲージ
MPA-UC4 80 0.4 4.5k 37
MPA-UC4S 64 1 4.5k 37 ひずみゲージ
MPA-UC5 100 0.5 3.5k 30
MPA-UC5S 80 1 3.5k 30 ひずみゲージ
MPA-UC6 120 0.6 3k 25
MPA-UC6S 96 1 3k 25 ひずみゲージ

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MPA-UDシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UD-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UD1 20 0.1 15k 244
MPA-UD1S 16 0.6 15k 244 ひずみゲージ
MPA-UD2 40 0.2 8.4k 138
MPA-UD2S 32 0.6 8.4k 138 ひずみゲージ
MPA-UD3 60 0.3 5.8k 96
MPA-UD3S 48 1 5.8k 96 ひずみゲージ
MPA-UD4 80 0.4 4.4k 74
MPA-UD4S 64 1 4.4k 74 ひずみゲージ
MPA-UD5 100 0.5 3.6k 60
MPA-UD5S 80 1 3.6k 60 ひずみゲージ
MPA-UD6 120 0.6 3k 51
MPA-UD6S 96 1 3k 51 ひずみゲージ

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