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1軸ピエゾアクチュエータ

装置の組込み等に最適な1軸アクチュエータです。


主なアプリケーション:

  • ●対象物の精密位置決め全般 ●振動制御 など
MHS-Fシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータ・ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MHS-F
  • 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
  • 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
  • ストロークは20µm~120µmを選択できます。
  • 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(垂直設置)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MHS-F1 20 0.1 3800 16
MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型
MHS-F2 40 0.2 1400 11
MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型
MHS-F4 80 0.4 1100 10
MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型
MHS-F6 120 0.6 1000 6.5
MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型

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MPA-UAシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UA-Series
    • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
    • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
    • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
    • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
    • 変位センサ・温度センサをオプション設定。
 
型 式ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UA1200.116k32
MPA-UA1S160.616k32ひずみゲージ
MPA-UA2400.28.5k19
MPA-UA2S320.68.5k19ひずみゲージ
MPA-UA3600.36k13
MPA-UA3S4816k13ひずみゲージ
MPA-UA4800.44.5k10
MPA-UA4S6414.5k10ひずみゲージ
MPA-UA51000.53.5k8
MPA-UA5S8013.5k8ひずみゲージ
MPA-UA61200.63k6.5
MPA-UA6S9613k6.5ひずみゲージ

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MPA-UBシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UB-Series
    • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
    • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
    • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
    • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
    • 変位センサ・温度センサをオプション設定。
 
型 式ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UB1200.116k66
MPA-UB1S160.616k66ひずみゲージ
MPA-UB2400.29.5k36
MPA-UB2S320.69.5k36ひずみゲージ
MPA-UB3600.36k24
MPA-UB3S4816k24ひずみゲージ
MPA-UB4800.44.5k18
MPA-UB4S6414.5k18ひずみゲージ
MPA-UB51000.53.5k15
MPA-UB5S8013.5k15ひずみゲージ
MPA-UB61200.63k12
MPA-UB6S9613k12ひずみゲージ

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MPA-UCシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UC-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサをオプション設定。
型 式ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UC1200.116k128
MPA-UC1S160.616k128ひずみゲージ
MPA-UC2400.29k70
MPA-UC2S320.69k70ひずみゲージ
MPA-UC3600.36k48
MPA-UC3S4816k48ひずみゲージ
MPA-UC4800.44.5k37
MPA-UC4S6414.5k37ひずみゲージ
MPA-UC51000.53.5k30
MPA-UC5S8013.5k30ひずみゲージ
MPA-UC61200.63k25
MPA-UC6S9613k25ひずみゲージ

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MPA-UDシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UD-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm~120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型 式ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UD1200.115k244
MPA-UD1S160.615k244ひずみゲージ
MPA-UD2400.28.4k138
MPA-UD2S320.68.4k138ひずみゲージ
MPA-UD3600.35.8k96
MPA-UD3S4815.8k96ひずみゲージ
MPA-UD4800.44.4k74
MPA-UD4S6414.4k74ひずみゲージ
MPA-UD51000.53.6k60
MPA-UD5S8013.6k60ひずみゲージ
MPA-UD61200.63k51
MPA-UD6S9613k51ひずみゲージ

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