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加工機用耐油ピエゾステージ

加工時の油の中で使用可能な高剛性のアクチュエーターです。


主なアプリケーション:

  • ●超微細加工(工作機械でのバイト精密位置制御) ●ワークの高速位置決め など
MWP-A30X加工機用耐油ピエゾステージ
ピエゾステージ Piezo Stage MO-10XD
  • 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
  • ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク37μmを発生します。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ

MWP-A30X

37 0.2

2.8k

60
MWP-A30XC 37

0.5

2.8k 60 静電容量

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MO-10XD 加工機用耐油ピエゾステージ
ピエゾステージ Piezo Stage MO-10XD
  • 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
  • ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク15μmを発生します。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MO-10XD 15 0.1 4.5k 55
MO-10XDC 12 1 4.5k 55 静電容量

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