products
ステッピングピエゾステージ

ピエゾの特徴である微小変位とロングストロークを両立したアクチュエータです。長い範囲を精密に位置決めする用途に適しています。


主なアプリケーション:

  • ●SEM内マニュピレーション ●ナノマテリアル観察・特性評価 ●バイオテクノロジー(細胞観察・追跡等) など
MST-TA1202XD ステッピングピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ MST-TA1202XD
  • サブμmのステップ変位繰り返しで最大ストローク12mm(X)
  • リニアガイド機構により、ステージ移動中ほとんどブレずに光学部品等の位置調整可能。
  • kgレベルの重量物も搭載可能。
  • ストローク、サイズ等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
型 式 ストローク

(μm)

最小ステップ

(μm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MST-TA1202XD 12000 0.1
MST-TA1202XDE 12000 0.1 Encoder

>> PDFをダウンロード

MN-1500ZD ステッピングピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MNシリーズ
  • サブμmのステップ変位繰り返しで最大ストローク1.5mm(Z)
  • 全部品が非磁性材料なので、磁場中での実験・測定に利用可能。
  • 小型軽量なため光学顕微鏡ステージに容易にセット可。特にステージ高が非常に低いので、ほとんどの汎用SEMにセット可能。
  • ストローク、サイズ等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
型 式 ストローク

(μm)

最小ステップ

(μm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MN-1500ZD 1500 0.1

>> PDFをダウンロード

MN-8000XD/6500ZD ステッピングピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MNシリーズ
  • サブμmのステップ変位繰り返し(粗動モード)で最大ストローク8mm(X),6.5mm(Z)、更に、滑らか変位(微動モード)で最大20μm。
  • 小型軽量なため光学顕微鏡ステージやSEMに容易にセット。
  • ストローク,サイズ,非磁性材料化等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
型 式 ストローク

(μm)

最小ステップ

(μm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MN-8000XD 8000 0.1
MN-6500ZD 6500 0.1

>> PDFをダウンロード

M-3917 3軸ナノマニピュレータシステム
ピエゾステージシステム Piezo Stage System M-3917 SEM用3軸ナノマニピュレーターM-3917

MN-8000XD:2台+MN-6500ZD:1台、専用ドライバ、専用操作BOX、固定台によるシステムです。

  • 粗動モードストローク8mm(XY軸)、6.5mm(Z軸)
  • 微動モード(各軸)ストローク20μm、分解能0.5nm
  • 小型軽量なためSEMに容易にセットできます。
型 式 ストローク

(μm)

最小ステップ

(μm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MN-8000XD(XY軸) 8000 0.1
MN-6500ZD(Z軸) 6500 0.1

>> PDFをダウンロード

1 / 11