products
1・2・3軸・透過窓付きピエゾステージ

ステージ形状のアクチュエータです。透過窓が付いている為、光学の検査装置、顕微鏡の試料観察等に使用可能です。


主なアプリケーション:

  • ●顕微鏡を使用したバイオテクノロジー ●各種スキャニング検査装置
  • ●分光分析 ●半導体関連検査装置 など
MAP-BA4Zシリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MAP-BA4Z
  • 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
  • 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
  • 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
  • 長期間にわたりメンテナンス不要。
  • 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MAP-BA4Z 100 0.1 730 3
MAP-BA4ZS 85 2 730 3 ひずみゲージ
MAP-BA4ZC 85 0.9 730 3 静電容量

>> PDFをダウンロード

MB-10シリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MB-10
  • 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
–> –> –> –> –>
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MB-10XL 12 0.1 560/-/- 0.25
MB-10ZL 12 0.1 -/-/480 0.25
MB-10XYL 12 0.1 440/490/- 0.25
MB-10XZL 12 0.1 420/-/410 0.25
MB-10XYZL 12 0.1 340/420/340 0.25

>> PDFをダウンロード

MAP-Fシリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MAP-F
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 180μmストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
型 式/可動軸 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MAP-F11 /X軸 180 0.3 240/-/- 0.15

MAP-F11S/X軸

152 2 240/-/- 0.15 ひずみゲージ
MAP-F11C/X軸 152 1 240/-/- 0.15 静電容量型

MAP-F12 /Z軸

180 0.3 -/-/210 0.15

MAP-F12S/Z軸

152 2 -/-/210 0.15 ひずみゲージ
MAP-F12C/Z軸 152 1 -/-/210 0.15 静電容量型

MAP-F21 /XY軸

180 0.3 180/180/- 0.15
MAP-F21S/XY軸 152 2 180/180/- 0.15 ひずみゲージ
MAP-F21C/XY軸 152 1 180/180/- 0.15 静電容量型
MAP-F22 /XZ軸 180 0.3 180/-/180 0.15
MAP-F22S/XY軸 152 2 180/-/180 0.15 ひずみゲージ
MAP-F22C/XZ軸 152 1 180/-/180 0.15 静電容量型
MAP-F3 /XYZ軸 180 0.3 230/180/140 0.15
MAP-F3S/XYZ軸 152 2 230/180/140 0.15 ひずみゲージ
MAP-F3C/XYZ軸 152 1 230/180/140 0.15 静電容量型

>> PDFをダウンロード

ML-20シリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
ピエゾステージ PiezoStage ML-20
  • XY軸に20μmのストロークを出力。
  • 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
ML-20XYL 20 0.2 2.1k 0.8
ML-20XYLC 16 0.5 2.1k 0.8 静電容量

>> PDFをダウンロード

ML-90シリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage ML-90
  • XY軸に90μmのストロークを出力。
  • 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数(X/Y)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
ML-90XYL 90 0.2 450 / 530 0.15
ML-90XYLC 72 1.5 450 / 530 0.15 静電容量

>> PDFをダウンロード

1 / 11