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1・2・3軸・ピエゾステージ

ステージ形状のアクチュエータです。試料等を載せた精密位置決めに最適です。


主なアプリケーション:

  • ●光学・レーザー部品の位置決め ●光ファイバーの光軸合わせ ●ミラーの制御
  • ●摩擦試験 ●振動制御 など
MPS-C1Xシリーズ 1・2・3軸ピエゾステージRoHS 6物質非含有
MPS-C1X
  • ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク2000µmを発生します。
  • 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPS-C1X 2000 1.5 100 0.1
MPS-C1XC 1600 4 100 0.1 静電容量

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MA-140シリーズ 1・2・3軸ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MA-140
  • 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
  • 1軸(X軸もしくはZ軸)のピエゾステージです。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MA-140XL 180 0.3 320 0.15
MA-140XLS 152 2 320 0.15 ひずみゲージ
MA-140XLC 152 1 320 0.15 静電容量
MA-140ZL 180 0.3 290 0.15
MA-140ZLS 152 2 290 0.15 ひずみゲージ
MA-140ZLC 152 1 290 0.15 静電容量

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MI-100シリーズ 1・2・3軸ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MI-100
  • 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
  • XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MI-100XYL 100 0.2 450/560/- 0.3
MI-100XYLS 80 2 450/560/- 0.3 ひずみゲージ
MI-100XYLC 80 1 520/650/- 0.3 静電容量
MI-100XYZL 100 0.2 320/320/450 0.3
MI-100XYZLS 80 2 320/320/450 0.3 ひずみゲージ
MI-100XYZLC 80 1 430/430/430 0.3 静電容量

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