装置の組込み等に最適な１軸アクチュエータです。
主なアプリケーション：
| 型 式 | ストローク
（μm） |
分 解 能
（nm） |
共振周波数
（Hz） |
剛 性
（N/μm） |
内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPA-UE1 | 15 | 0.1 | 13k | 244 | – |
| MPA-UE1S | 12 | 0.6 | 13k | 244 | ひずみゲージ |
| MPA-UE2 | 30 | 0.2 | 7.4k | 138 | – |
| MPA-UE2S | 24 | 0.6 | 7.4k | 138 | ひずみゲージ |
| MPA-UE3 | 45 | 0.3 | 5.2k | 96 | – |
| MPA-UE3S | 36 | 1 | 5.2k | 96 | ひずみゲージ |
| MPA-UE4 | 60 | 0.4 | 4k | 74 | – |
| MPA-UE4S | 48 | 1 | 4k | 74 | ひずみゲージ |
| MPA-UE5 | 75 | 0.5 | 3.2k | 60 | – |
| MPA-UE5S | 60 | 1 | 3.2k | 60 | ひずみゲージ |
| MPA-UE6 | 90 | 0.6 | 2.7k | 51 | – |
| MPA-UE6S | 72 | 1 | 2.7k | 51 | ひずみゲージ |
| 型 式 | ストローク
（μm） |
分 解 能
（nm） |
共振周波数
（Hz） |
剛 性
（N/μm） |
内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPA-UD1 | 20 | 0.1 | 15k | 244 | – |
| MPA-UD1S | 16 | 0.6 | 15k | 244 | ひずみゲージ |
| MPA-UD2 | 40 | 0.2 | 8.4k | 138 | – |
| MPA-UD2S | 32 | 0.6 | 8.4k | 138 | ひずみゲージ |
| MPA-UD3 | 60 | 0.3 | 5.8k | 96 | – |
| MPA-UD3S | 48 | 1 | 5.8k | 96 | ひずみゲージ |
| MPA-UD4 | 80 | 0.4 | 4.4k | 74 | – |
| MPA-UD4S | 64 | 1 | 4.4k | 74 | ひずみゲージ |
| MPA-UD5 | 100 | 0.5 | 3.6k | 60 | – |
| MPA-UD5S | 80 | 1 | 3.6k | 60 | ひずみゲージ |
| MPA-UD6 | 120 | 0.6 | 3k | 51 | – |
| MPA-UD6S | 96 | 1 | 3k | 51 | ひずみゲージ |
・微細ピッチねじのついたケースを採用。本体固定や初期位置合わせがしやすい形状。
・予圧機構により引張力も発生できる。
・用途に合わせた形状カスタマイズ等にも対応可能。
| 型 式 | ストローク
（μm） |
許容荷重 （引張り） （nm） |
許容荷重 （圧縮） （Hz） |
静電容量値
（µF） |
L寸法 (mm） |
|---|---|---|---|---|---|
| MPA-KB1 | 20 | 200 | 1500 | 1.8 | 29 |
| MPA-KB2 | 40 | 200 | 1500 | 3.6 | 47 |
| MPA-KB3 | 60 | 200 | 1500 | 5.4 | 65 |
| MPA-KB6 | 120 | 200 | 1500 | 11 | 119 |
| 型 式 | ストローク
（μm） |
分 解 能
（nm） |
共振周波数
（Hz） |
剛 性
（N/μm） |
内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPA-MC4 | 400 | 0.5 | 330 | 0.2 | – |
