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1軸ピエゾアクチュエータ

装置の組込み等に最適な１軸アクチュエータです。


主なアプリケーション：

  • ●対象物の精密位置決め全般　●振動制御 など
MHS-Fシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータ・ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MHS-F
  • 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
  • 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
  • ストロークは20µm～120µmを選択できます。
  • 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型　式 ストローク

（μm）

 分　解　能

（nm）

 共振周波数

（垂直設置）

（Hz）

 剛　性

（N/μm）

 内蔵センサ
MHS-F1 20 0.1 3800 16 –
MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型
MHS-F2 40 0.2 1400 11 –
MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型
MHS-F4 80 0.4 1100 10 –
MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型
MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 –
MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型

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MPA-UEシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UE-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの15µm～90µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型　式 ストローク

（μm）

 分　解　能

（nm）

 共振周波数

（Hz）

 剛　性

（N/μm）

 内蔵センサ
MPA-UE1 15 0.1 13k 704 –
MPA-UE1S 12 0.6 13k 704 ひずみゲージ
MPA-UE2 30 0.2 7.4k 393 –
MPA-UE2S 24 0.6 7.4k 393 ひずみゲージ
MPA-UE3 45 0.3 5.2k 276 –
MPA-UE3S 36 1 5.2k 276 ひずみゲージ
MPA-UE4 60 0.4 4k 209 –
MPA-UE4S 48 1 4k 209 ひずみゲージ
MPA-UE5 75 0.5 3.2k 169 –
MPA-UE5S 60 1 3.2k 169 ひずみゲージ
MPA-UE6 90 0.6 2.7k 142 –
MPA-UE6S 72 1 2.7k 142 ひずみゲージ

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MPA-UDシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UD-Series
  • 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
  • 変位の際に押し引きの力を発生できます。
  • 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
  • ストロークの20µm～120µmを選択できます。
  • 変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型　式 ストローク

（μm）

 分　解　能

（nm）

 共振周波数

（Hz）

 剛　性

（N/μm）

 内蔵センサ
MPA-UD1 20 0.1 15k 244 –
MPA-UD1S 16 0.6 15k 244 ひずみゲージ
MPA-UD2 40 0.2 8.4k 138 –
MPA-UD2S 32 0.6 8.4k 138 ひずみゲージ
MPA-UD3 60 0.3 5.8k 96 –
MPA-UD3S 48 1 5.8k 96 ひずみゲージ
MPA-UD4 80 0.4 4.4k 74 –
MPA-UD4S 64 1 4.4k 74 ひずみゲージ
MPA-UD5 100 0.5 3.6k 60 –
MPA-UD5S 80 1 3.6k 60 ひずみゲージ
MPA-UD6 120 0.6 3k 51 –
MPA-UD6S 96 1 3k 51 ひずみゲージ

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MPA-KB 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-KB

・微細ピッチねじのついたケースを採用。本体固定や初期位置合わせがしやすい形状。

・予圧機構により引張力も発生できる。

・用途に合わせた形状カスタマイズ等にも対応可能。

型　式 ストローク

（μm）

許容荷重

（引張り）

（nm）

許容荷重

（圧縮）

（Hz）

 静電容量値

（µF）

L寸法

(mm）
MPA-KB1 20 200 1500 1.8 29
MPA-KB2 40 200 1500 3.6 47
MPA-KB3 60 200 1500 5.4 65
MPA-KB6 120 200 1500 11 119

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MPA-MC4 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-MC4
    一体弾性ヒンジによるガイド機構に積層圧電アクチュエーターを組込んだ製品で摩擦のない精度のよい真直動作を得ることができます。変位拡大により小型ながら大きな変位量です。サブナノメートルオーダーの高分解能動作とミリ秒高速応答性が特徴です。各種機器への組込みに特化した低コスト_ピエゾアクチュエーター。
型　式 ストローク

（μm）

 分　解　能

（nm）

 共振周波数

（Hz）

 剛　性

（N/μm）

 内蔵センサ
MPA-MC4 400 0.5 330 0.2 –

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