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MHS-Fシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータ・ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MHS-F
  • 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
  • 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
  • ストロークは20µm~120µmを選択できます。
  • 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(垂直設置)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MHS-F1 20 0.1 3800 16
MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型
MHS-F2 40 0.2 1400 11
MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型
MHS-F4 80 0.4 1100 10
MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型
MHS-F6 120 0.6 1000 6.5
MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型

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