装置の組込み等に最適な１軸アクチュエータです。

ステージ形状のアクチュエータです。試料等を載せた精密位置決めに最適です。

ステージ形状のアクチュエータです。
透過窓が付いている為、光学の検査装置、顕微鏡の試料観察等に使用可能です。

剛性の高いステージ形状のアクチュエータです。
高速でのスキャニング、大質量ワークの位置決めに最適です。

ピエゾの特徴である微小変位とロングストロークを両立したアクチュエータです。
長い範囲を精密に位置決めする用途に適しています。

光学ミラー制御等、高分解能のチルト機構を必要とする用途に向いています。

対物レンズを用いる光学顕微鏡、光学形状計測器、レーザー加工機等の光学装置での

オートフォーカス、微小変位測定、焦点位置調整等の用途に向いています。

加工時の油の中で使用可能な高剛性のアクチュエータです。

レーザー干渉計の高速レンズ位置決めなどに使われています。

それぞれ独自の機構を使用し、さまざまな用途で使用されています。