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MZ-1300ZL 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MZ-1300ZL
  • 1300μmのロングストロークを出力。
  • 変位軸方向にコンパクトな設計(高さ38mm)ながら大変位を出力。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、真直性に優れます。
  • 外部に変位センサーを設置して変位クローズド制御することも可能です。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MZ-1300ZL 1300 0.5 180 0.26

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