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MWP-A30X加工機用耐油ピエゾステージ
ピエゾステージ Piezo Stage MO-10XD
  • 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
  • ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク37μmを発生します。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ

MWP-A30X

37 0.2

2.8k

60
MWP-A30XC 337

0.5

2.8k 60 静電容量

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