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MTL-E1-M チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MP-5TYZL
  • 高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。
  • 体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 振れ角

(μrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MTL-E1-M 450 0.004 6000
MTL-E1C-M 360 0.2 6000 静電容量

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