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MQ-2TXYD チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MQ-2TXTD 2軸チルトステージ MQ-2TXYD
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
型 式 振れ角

(mrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/um)

内蔵センサ
MQ-2TXYD 3 0.02 3.1k
MQ-2TXYDS 2.4 0.04 3.1k ひずみゲージ

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