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MPS-C1Xシリーズ 1・2・3軸ピエゾステージRoHS 6物質非含有
MPS-C1X
  • ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク2000µmを発生します。
  • 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPS-C1X 2000 1.5 100 0.1
MPS-C1XC 1600 4 100 0.1 静電容量

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