- ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク1500µmを発生します。
- 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPS-C1X | 1500 | 1.5 | 100 | 0.1 | – |
| MPS-C1XC | 1200 | 4 | 100 | 0.1 | 静電容量 |
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- 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPS-C1X | 1500 | 1.5 | 100 | 0.1 | – |
| MPS-C1XC | 1200 | 4 | 100 | 0.1 | 静電容量 |