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MPA-UCシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UC-Series
  • 積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケース(φ20mm)に内蔵しています。
  • ストロークは20μm~120μm を選択できます。
  • 最大発生力3500N。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。
  • 低コスト・短納期です。
  • 形状変更、真空対応などカスタマイズにも対応可能です。
  • 先端に取り付ける球面エンドピース(M-9910シリーズ)あり(オプション)。
  • 温度センサあり(オプション)。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UC1 20 0.1 14k 183
MPA-UC1S 16 0.6 14k 183 ひずみゲージ
MPA-UC2 40 0.2 8k 92
MPA-UC2S 32 0.6 8k 92 ひずみゲージ
MPA-UC3 60 0.3 6k 61
MPA-UC3S 48 1 6k 61 ひずみゲージ
MPA-UC4 80 0.4 5k 46
MPA-UC4S 64 1 5k 46 ひずみゲージ
MPA-UC5 100 0.5 4k 37
MPA-UC5S 80 1 4k 37 ひずみゲージ
MPA-UC6 120 0.6 3k 31
MPA-UC6S 96 1 3k 31 ひずみゲージ

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