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MPA-UBシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UB-Series
  • 積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケース(φ15mm)に内蔵しています。
  • ストロークは20μm~120μm を選択できます。
  • 最大発生力1700N。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。
  • 低コスト・短納期です。
  • 形状変更、真空対応などカスタマイズにも対応可能です。
  • 先端に取り付ける球面エンドピース(M-9910シリーズ)あり(オプション)。
    • 温度センサあり(オプション)。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UB1 20 0.1 15k 94
MPA-UB1S 16 0.6 15k 94 ひずみゲージ
MPA-UB2 40 0.2 9k 47
MPA-UB2S 32 0.6 9k 47 ひずみゲージ
MPA-UB3 60 0.3 6k 31
MPA-UB3S 48 1 6k 31 ひずみゲージ
MPA-UB4 80 0.4 5k 24
MPA-UB4S 64 1 5k 24 ひずみゲージ
MPA-UB5 100 0.5 4k 19
MPA-UB5S 80 1 4k 19 ひずみゲージ
MPA-UB6 120 0.6 3k 16
MPA-UB6S 96 1 3k 16 ひずみゲージ

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