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MPA-UAシリーズ 1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
ピエゾアクチュエータ PiezoActuator MPA-UA-Series
  • 積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケース(φ12mm)に内蔵しています。
  • ストロークは20μm~120μm を選択できます。
  • 最大発生力850N。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。
  • 低コスト・短納期です。
  • 形状変更、真空対応などカスタマイズにも対応可能です。
  • 先端に取り付ける球面エンドピース(M-9910シリーズ)あり(オプション)。
    • 温度センサあり(オプション)。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MPA-UA1 20 0.1 18k 47
MPA-UA1S 16 0.6 18k 47 ひずみゲージ
MPA-UA2 40 0.2 14k 24
MPA-UA2S 32 0.6 14k 24 ひずみゲージ
MPA-UA3 60 0.3 10k 16
MPA-UA3S 48 1 10k 16 ひずみゲージ
MPA-UA4 80 0.4 8k 12
MPA-UA4S 64 1 8k 12 ひずみゲージ
MPA-UA5 100 0.5 7k 9
MPA-UA5S 80 1 7k 9 ひずみゲージ
MPA-UA6 120 0.6 6k 8
MPA-UA6S 96 1 6k 8 ひずみゲージ

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