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MP-5TYZL チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MP-5TYZL
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 2軸振れ角6mrad・高精度位置分解能・高速応答
型 式 振れ角

(mrad)

分 解 能

(μrad)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MP-5TYZL 6 0.02 370
MP-5TYZLS 4.8 0.1 370 ひずみゲージ
MP-5TYZLC 4.8 0.1 370 静電容量

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