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MO-10XD 加工機用耐油ピエゾステージ
ピエゾステージ Piezo Stage MO-10XD
  • 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
  • ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク15μmを発生します。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MO-10XD 15 0.1 4.5k 55
MO-10XDC 12 1 4.5k 55 静電容量

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