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MN-8000XD/6500ZD ステッピングピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ Piezo Stage MNシリーズ
  • サブμmのステップ変位繰り返し(粗動モード)で最大ストローク8mm(X),6.5mm(Z)、更に、滑らか変位(微動モード)で最大20μm。
  • 小型軽量なため光学顕微鏡ステージやSEMに容易にセット。
  • ストローク,サイズ,非磁性材料化等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
型 式 ストローク

(μm)

最小ステップ

(μm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MN-8000XD 8000 0.1
MN-6500ZD 6500 0.1

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