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ML-90シリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage ML-90
  • XY軸に90μmのストロークを出力。
  • 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数(X/Y)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
ML-90XYL 90 0.2 450 / 530 0.15
ML-90XYLC 72 1.5 450 / 530 0.15 静電容量

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