- XY軸に90μmのストロークを出力。
- 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (X/Y) (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| ML-90XYL | 90 | 0.2 | 450 / 530 | 0.15 | – |
| ML-90XYLC | 72 | 1.5 | 450 / 530 | 0.15 | 静電容量 |
関連製品
MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL- XY軸に90μmのストロークを出力。
- 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (X/Y) (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| ML-90XYL | 90 | 0.2 | 450 / 530 | 0.15 | – |
| ML-90XYLC | 72 | 1.5 | 450 / 530 | 0.15 | 静電容量 |