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ML-20シリーズ 1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
ピエゾステージ PiezoStage ML-20
  • XY軸に20μmのストロークを出力。
  • 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
ML-20XYL 20 0.2 2.1k 0.8
ML-20XYLC 16 0.5 2.1k 0.8 静電容量

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