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MI-100シリーズ 1・2・3軸ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MI-100
  • 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
  • XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数

X/Y/Z(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MI-100XYL 100 0.2 450/560/- 0.3
MI-100XYLS 80 2 450/560/- 0.3 ひずみゲージ
MI-100XYLC 80 1 520/650/- 0.3 静電容量
MI-100XYZL 100 0.2 320/320/450 0.3
MI-100XYZLS 80 2 320/320/450 0.3 ひずみゲージ
MI-100XYZLC 80 1 430/430/430 0.3 静電容量

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