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MH-20XYD 高速応答・高剛性ピエゾステージRoHS 6物質非含有
ピエゾステージ PiezoStage MH-20XYD
  • 高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 高剛性・ナノメートル位置分解能・ミリ秒高速応答
型 式 ストローク

(μm)

分 解 能

(nm)

共振周波数(X/Y)

(Hz)

剛 性

(N/μm)

内蔵センサ
MH-20XYD 20 0.2 3.5k / 3.0k 150
MH-20XYDC 16 1 3.5k / 3.0k 150 静電容量

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